從1980年發(fā)表第一篇關(guān)于電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（inductively coupled plasma mass spectrometry，ICP-MS）的里程性文章至今已經(jīng)有30年。1983年地臺商品化ICP-MS面試，迄今該儀器在環(huán)境科學、地球科學、生命科學、材料科學、食品科學、石油工業(yè)、海洋科學等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，其檢測技術(shù)也有了長足的發(fā)展。目前，在這些領(lǐng)域的應(yīng)用大約占了ICP-MS應(yīng)用的80%以上，已成為公認的最強有力的元素分析技術(shù)。

  傳統(tǒng)的元素分析方法，包括分光光度法、原子吸收光譜法、原子熒光光譜法、電感耦合等離子體發(fā)射光譜法等，這些方法都各有優(yōu)點，但也有其局限性。例如，或是樣品前處理復雜，需萃取、濃縮富集或抑制干擾；或是不能進行多組分或多元素同時測定，耗時費力；或是儀器的檢測限或靈敏度達不到指標要去等。

  相比于其他痕量金屬元素分析技術(shù)，ICP-MS有其獨特的優(yōu)勢。其以獨特的接口技術(shù)兼ICP-MS的高溫（7000k）電離特性與四級桿質(zhì)譜計的靈敏快速掃描有點相結(jié)合，從而形成一種新型的元素和同位素分析技術(shù)。這一技術(shù)，幾乎可以分析地球上所有的元素。ICP-MS技術(shù)的分析能力不僅可以取代傳統(tǒng)的無機分析技術(shù)如AAS/AFS和ICP-AES技術(shù)進行半定量、定量分析及同位素比值的準確測量等，還可以與其他技術(shù)如色譜、毛細管電泳等聯(lián)用進行元素的形態(tài)、分布特性等分析。

  ICP-MS技術(shù)使在克服了傳統(tǒng)方式中的大多數(shù)缺點后發(fā)展起來的更加完善的元素分析，被認為是當代分析技術(shù)的一次重大發(fā)展。這一技術(shù)已成為當今痕量元素分析、同位素分析、元素形態(tài)分析的最強有力的武器。